Process
製程說明
黃光段是先進製程的心臟，曝光機與旋塗顯影設備的精度直接決定線寬與疊對能力。我們提供日系主力曝光機全系列產品的銷售與維護，涵蓋奈米壓印等前瞻技術路線。
Brands
代理品牌
日系原廠正式管道，銷售與維護一體服務。
NIKON
全系列曝光機
銷售 / 維護
CANON
全系列曝光機（含奈米壓印 NIL）
銷售 / 維護
TEL
旋塗及顯影設備
銷售 / 維護
DNS
旋塗及顯影設備
銷售 / 維護
Specifications
設備規格表
各品牌主力機型類別概覽，完整規格隨報價提供。
| 機型類別 | 適用節點 | 關鍵規格 |
|---|---|---|
| NIKON全系列曝光機 | 先進節點至 2nm／GAA | 線寬與疊對精度依機型配置 |
| CANON全系列曝光機（含奈米壓印 NIL） | 先進節點至 2nm／GAA | 線寬與疊對精度依機型配置 |
| TEL旋塗及顯影設備 | 先進節點至 2nm／GAA | 線寬與疊對精度依機型配置 |
| DNS旋塗及顯影設備 | 先進節點至 2nm／GAA | 線寬與疊對精度依機型配置 |
AI Integration
AI 整合
對標 2024–2026 公開發表之代表模型，隨設備導入。
LithoDreamer
生成式黃光製程模型，支援曝光條件探索與製程窗優化
製程窗探索效率大幅提升
ILT 逆光刻技術
逆向設計生成掩模圖形，GPU 加速收斂，對接先進節點 OPC 需求
先進節點掩模優化
可解釋 GAT（ASP-DAC'26）
佈局熱點偵測，8 頭圖注意力網路
記憶體較影像法省 5–12×
SEMVision H20
e-Beam 複審深度學習分類，產線持續訓練
3× 複審速度，已導入 2nm/GAA
Service Flow
服務流程
從採購到驗收，單一窗口全程負責。
- 1採購
- 2拆裝機
- 3運送
- 4裝機
- 5驗收