Process
工程の概要
検査工程は AI 応用が最も成熟した領域であり、ウェーハマップの欠陥分類から適応型テストまでを網羅します。当社は日系 ADVANTEST と LASERTECHNIK の検査装置の販売とメンテナンスを提供し、最先端の AI モデルを統合します。
Brands
取扱ブランド
日系メーカーの正規ルートで、販売とメンテナンスを一体で提供します。
ADVANTEST
ウェーハテスト装置
LASERTECHNIK
光学検査装置
Specifications
装置仕様表
各ブランドの主力機種カテゴリの概要です。詳細な仕様はお見積りとあわせてご提供します。
| 機種カテゴリ | 対応ノード | 主要仕様 |
|---|---|---|
| ADVANTESTウェーハテスト装置 | ウェーハレベルテストと先端パッケージ | テストチャンネル数と精度は機種構成によります |
| LASERTECHNIK光学検査装置 | ウェーハレベルテストと先端パッケージ | テストチャンネル数と精度は機種構成によります |
AI Integration
AI 統合
2024–2026 年に公開された代表的モデルをベンチマークし、装置導入とあわせて提供します。
G2LGAN＋CNN
2 段階の GAN データ拡張＋MobileNetV2 によるウェーハマップ欠陥分類
Acc 98.39%、F1 93.01%
CNN-ESN
ResNet34＋エコーステートネットワーク。ノイズを含むウェーハマップでも頑健に分類
クリーン 94.74%、ノイズ 87.30%
IBM ASMC
ViT（DINOv2）による半教師あり SEM 欠陥分類、1 クラスあたり 15 枚未満
少数サンプルでも 90% 超
PDF Exensio
XGBoost＋PCA による歩留まり予測。欠陥／計測／電気テスト／FDC を統合
しきい値調整で overkill/underkill をバランス
KGD／外れ値検出
GPR による空間モデリング＋コンフォーマル予測 QR＋CatBoost
DPAT を上回り、Vmin は約 90% のカバレッジを保証
InF-ATPG
FFR 分割＋QGNN＋DQN
バックトラック -55.06%、UFP 0.50%
GPU リアルタイム適応型テスト
GPU 加速 ML の量産ライン展開
Blackwell 量産：テスト時間 -25%
デュアルパス時空間モデル（DATE'25）
3D SW-MSA Transformer による動的 IR ホットスポット予測
2D/3D-CNN および再帰型 U-Net を上回る
Service Flow
サービスフロー
調達から検収まで、単一窓口が全工程に責任を持ちます。
- 1調達
- 2解体
- 3輸送
- 4据付
- 5検収
この工程の装置リストとお見積りをご請求ください
ウェーハ検査（Test & Inspection）の新品・中古装置の評価、仕様確認、解体・据付と輸送のお見積りを承ります。お気軽にメールでお問い合わせください。