イオン注入Ion Implant

ドーピング濃度をナノレベルで制御し、デバイスの電気的特性を決定づけます。

Process

工程の概要

イオン注入工程はデバイスチャネルの不純物分布を決定します。当社は日系 ULVAC と NISSIN の 2 社によるイオン注入装置の販売とメンテナンスを提供します。

Brands

日系メーカーの正規ルートで、販売とメンテナンスを一体で提供します。

イオン注入装置

販売 / メンテナンス

イオン注入装置

販売 / メンテナンス

Specifications

各ブランドの主力機種カテゴリの概要です。詳細な仕様はお見積りとあわせてご提供します。

イオン注入装置仕様表（参考データ。実際の内容はお見積りに準じます）
機種カテゴリ	対応ノード	主要仕様
ULVACイオン注入装置	全ノードのドーピング工程	ドーズ量とエネルギー範囲は機種構成によります
NISSINイオン注入装置	全ノードのドーピング工程	ドーズ量とエネルギー範囲は機種構成によります

※ 本表は参考データであり、評価の目安としてご利用ください。実際の機種、対応ノード、仕様は正式なお見積りに準じます。

AI Integration

2024–2026 年に公開された代表的モデルをベンチマークし、装置導入とあわせて提供します。

ベイズ PINN。Korhonen PDE の物理残差＋観測値により不確実性を定量化

PINN の過学習を克服し、多配線セグメントの寿命分布に対応

J、L、T、IR Drop の回帰＋MTTF 分類

MTTF 予測は厳密モデル並みの精度を保ちつつ大幅に高速化

Service Flow

調達から検収まで、単一窓口が全工程に責任を持ちます。

イオン注入（Ion Implant）の新品・中古装置の評価、仕様確認、解体・据付と輸送のお見積りを承ります。お気軽にメールでお問い合わせください。