Process
製程說明
離子植入段決定元件通道的摻雜分佈。我們提供日系 ULVAC 與 NISSIN 兩大設備商的離子植入設備銷售與維護服務。
Brands
代理品牌
日系原廠正式管道，銷售與維護一體服務。
ULVAC
離子植入設備
銷售 / 維護
NISSIN
離子植入設備
銷售 / 維護
Specifications
設備規格表
各品牌主力機型類別概覽，完整規格隨報價提供。
| 機型類別 | 適用節點 | 關鍵規格 |
|---|---|---|
| ULVAC離子植入設備 | 全節點摻雜製程 | 劑量與能量範圍依機型配置 |
| NISSIN離子植入設備 | 全節點摻雜製程 | 劑量與能量範圍依機型配置 |
AI Integration
AI 整合
對標 2024–2026 公開發表之代表模型，隨設備導入。
BPINN-EM-Post
貝氏 PINN，Korhonen PDE 物理殘差＋觀測，不確定性量化
克服 PINN 過擬合、支援多線段壽命分佈
Dey et al. 10 層 NN
J、L、T、IR Drop 迴歸＋MTTF 分類
MTTF 預測可比精確模型，顯著加速
Service Flow
服務流程
從採購到驗收，單一窗口全程負責。
- 1採購
- 2拆裝機
- 3運送
- 4裝機
- 5驗收