Process
工艺说明
离子注入段决定器件沟道的掺杂分布。我们提供日系 ULVAC 与 NISSIN 两大设备商的离子注入设备销售与维护服务。
Brands
代理品牌
日系原厂正式渠道，销售与维护一体服务。
ULVAC
离子注入设备
销售 / 维护
NISSIN
离子注入设备
销售 / 维护
Specifications
设备规格表
各品牌主力机型类别概览，完整规格随报价提供。
| 机型类别 | 适用节点 | 关键规格 |
|---|---|---|
| ULVAC离子注入设备 | 全节点掺杂工艺 | 剂量与能量范围依机型配置 |
| NISSIN离子注入设备 | 全节点掺杂工艺 | 剂量与能量范围依机型配置 |
AI Integration
AI 整合
对标 2024–2026 公开发表的代表模型，随设备导入。
BPINN-EM-Post
贝叶斯 PINN，Korhonen PDE 物理残差＋观测，不确定性量化
克服 PINN 过拟合、支持多线段寿命分布
Dey et al. 10 层 NN
J、L、T、IR Drop 回归＋MTTF 分类
MTTF 预测可比精确模型，显著加速
Service Flow
服务流程
从采购到验收，单一窗口全程负责。
- 1采购
- 2拆装机
- 3运输
- 4装机
- 5验收