Process
工艺说明
烘烤段影响光刻胶固化、溶剂挥发与薄膜应力。我们代理日系 KE 与 TAZMO 两大设备商，提供烘烤工艺设备的销售与维护。
Brands
代理品牌
日系原厂正式渠道，销售与维护一体服务。
KE
烘烤工艺设备
销售 / 维护
TAZMO
烘烤工艺设备
销售 / 维护
Specifications
设备规格表
各品牌主力机型类别概览，完整规格随报价提供。
| 机型类别 | 适用节点 | 关键规格 |
|---|---|---|
| KE烘烤工艺设备 | 全节点适用 | 温度均匀性与曲线控制依机型配置 |
| TAZMO烘烤工艺设备 | 全节点适用 | 温度均匀性与曲线控制依机型配置 |
AI Integration
AI 整合
对标 2024–2026 公开发表的代表模型，随设备导入。
TTSV-HMO
2.5D 电热协同等效模型＋混合元启发式（PSO+SA）
温度 MAE 0.35%、阻抗 3.97%
热曲线数字孪生
烘烤温度曲线实时映射与偏差预警
热工艺偏移提前检测
Service Flow
服务流程
从采购到验收，单一窗口全程负责。
- 1采购
- 2拆装机
- 3运输
- 4装机
- 5验收