Process
製程說明
烘烤段影響光阻固化、溶劑揮發與薄膜應力。我們代理日系 KE 與 TAZMO 兩大設備商，提供烘烤製程設備的銷售與維護。
Brands
代理品牌
日系原廠正式管道，銷售與維護一體服務。
KE
烘烤製程設備
銷售 / 維護
TAZMO
烘烤製程設備
銷售 / 維護
Specifications
設備規格表
各品牌主力機型類別概覽，完整規格隨報價提供。
| 機型類別 | 適用節點 | 關鍵規格 |
|---|---|---|
| KE烘烤製程設備 | 全節點適用 | 溫度均勻性與曲線控制依機型配置 |
| TAZMO烘烤製程設備 | 全節點適用 | 溫度均勻性與曲線控制依機型配置 |
AI Integration
AI 整合
對標 2024–2026 公開發表之代表模型，隨設備導入。
TTSV-HMO
2.5D 電熱協同等效模型＋混合元啟發式（PSO+SA）
溫度 MAE 0.35%、阻抗 3.97%
熱曲線數字孿生
烘烤溫度曲線即時映射與偏差預警
熱製程偏移提前偵測
Service Flow
服務流程
從採購到驗收，單一窗口全程負責。
- 1採購
- 2拆裝機
- 3運送
- 4裝機
- 5驗收