Process
工程の概要
エッチング工程はパターン転写の最終的な輪郭と側壁品質を決定します。当社は日系 TEL と SAMCO のエッチング装置を取り扱い、調達から据付、メンテナンスまで一貫したサービスを提供します。
Brands
取扱ブランド
日系メーカーの正規ルートで、販売とメンテナンスを一体で提供します。
TEL
ドライエッチング装置
販売 / メンテナンス
SAMCO
エッチング・表面処理装置
販売 / メンテナンス
Specifications
装置仕様表
各ブランドの主力機種カテゴリの概要です。詳細な仕様はお見積りとあわせてご提供します。
| 機種カテゴリ | 対応ノード | 主要仕様 |
|---|---|---|
| TELドライエッチング装置 | 28nm–3nm | エッチング選択比と均一性はチャンバー構成によります |
| SAMCOエッチング・表面処理装置 | 28nm–3nm | エッチング選択比と均一性はチャンバー構成によります |
AI Integration
AI 統合
2024–2026 年に公開された代表的モデルをベンチマークし、装置導入とあわせて提供します。
TSMC スマート製造
RNN（時系列 FDC）＋連合学習により、チャンバーのセンサー時系列データを解析
歩留まり影響予測 約92%（28–3nm）、流出率 -15%
デジタルツインによるチャンバーシミュレーション
エッチングチャンバー状態のリアルタイム仮想マッピング、予知保全に対応
計画外停止時間の削減
Service Flow
サービスフロー
調達から検収まで、単一窓口が全工程に責任を持ちます。
- 1調達
- 2解体
- 3輸送
- 4据付
- 5検収
この工程の装置リストとお見積りをご請求ください
エッチング工程（Etch）の新品・中古装置の評価、仕様確認、解体・据付と輸送のお見積りを承ります。お気軽にメールでお問い合わせください。